無塵烘箱廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)器件、鋰電池、醫(yī)藥及精密電子元件的干燥、固化與老化處理，其核心要求不僅是精準(zhǔn)控溫（±1℃），更需維持內(nèi)部微粒濃度極低（ISO5-7級）。若維護(hù)不當(dāng)，易導(dǎo)致顆粒污染、溫度漂移、HEPA失效或內(nèi)腔銹蝕，直接影響產(chǎn)品良率?？茖W(xué)規(guī)范的定期保養(yǎng)
無塵烘箱，是保障潔凈+恒溫雙重要求的關(guān)鍵。
一、每日使用前后基礎(chǔ)維護(hù)
清潔內(nèi)腔表面：使用無塵布蘸取IPA（異丙醇）或去離子水，擦拭不銹鋼內(nèi)壁、擱板及門封，去除殘留揮發(fā)物或微粒；
檢查門密封性：確認(rèn)硅膠門封無變形、開裂，關(guān)門后無縫隙漏光；
記錄運(yùn)行參數(shù)：核查設(shè)定溫度、實(shí)際溫度及超溫保護(hù)狀態(tài)，確保無異常波動(dòng)。
二、每周例行保養(yǎng)
HEPA/ULPA過濾器檢查：
目視檢查初效過濾器是否積塵，及時(shí)更換；
使用風(fēng)速儀測量高效過濾器面風(fēng)速（通常0.3-0.5m/s），若下降超20%，需更換HEPA；
擱板與支架清潔：取出擱板，用超聲波清洗機(jī)去除微粒附著，烘干后裝回；
排風(fēng)系統(tǒng)清理：清潔排氣口濾網(wǎng)，防止堵塞影響換氣效率。
三、每月深度維護(hù)
溫控系統(tǒng)校準(zhǔn)：
使用經(jīng)計(jì)量認(rèn)證的多點(diǎn)溫度記錄儀，驗(yàn)證腔內(nèi)溫度均勻性（典型要求±2℃以內(nèi)）；
校準(zhǔn)主控傳感器與超溫保護(hù)探頭，偏差超限需調(diào)整或更換；
內(nèi)腔完整性檢查：
查看焊縫、角接處是否有銹斑或涂層剝落（尤其處理酸性樣品后）；
不銹鋼表面如有劃痕，需拋光處理以防藏污納垢；
風(fēng)機(jī)與加熱管除塵：斷電后用吸塵器清除循環(huán)風(fēng)機(jī)葉片及加熱管積塵，提升熱效率。
四、每季度專業(yè)維護(hù)
潔凈度測試：委托第三方進(jìn)行粒子計(jì)數(shù)檢測（0.5μm、5.0μm顆粒濃度），確認(rèn)符合ISO等級；
電氣安全檢查：測試接地電阻（＜4Ω）、絕緣電阻及超溫保護(hù)功能；
更換老化部件：如門鉸鏈潤滑脂、溫度控制器繼電器、密封條等。
更新時(shí)間：2025-11-18 
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